電容式傳感器是用電容器作為敏感元件,將被測(cè)物理量的變化轉(zhuǎn)換為電容量變化的一種傳感器。電容式傳感器在力學(xué)量的測(cè)量中占有非常重要的地位,它可以對(duì)重量、壓力、位移、振動(dòng)、加速度等進(jìn)行測(cè)量,還可以對(duì)差壓、液位、液面、料面、成分含量等多種量進(jìn)行測(cè)量。
電容式傳感器的特點(diǎn)如下:
①功率小、阻抗高。電容式傳感器的電容量很小,一般為幾十至幾百皮法,因此具有高阻抗輸出。
②靜電引力小,動(dòng)態(tài)性能好。電容式傳感器極板間的靜電引力很小,工作時(shí)需要的作用能量很小,它有很小的可動(dòng)質(zhì)量,因而具有較高的固有頻率和良好的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性。
③發(fā)熱影響小。
④可以非接觸式測(cè)量,并能在高溫、輻射和強(qiáng)烈振動(dòng)等惡劣條件下工作。
⑤零漂小、結(jié)構(gòu)簡單、體積小、分辯率高。
基于電容式傳感器具有以上諸多的優(yōu)點(diǎn),隨著電容測(cè)量技術(shù)的迅速發(fā)展,電容式傳感器在非電量測(cè)量和自動(dòng)檢測(cè)中得到了廣泛的應(yīng)用。