圖8-21所示為差動(dòng)式電容加速度傳感器結(jié)構(gòu)圖。它有兩個(gè)固定極板(與殼體絕緣),中間有一用彈簧片支撐的質(zhì)量塊,此質(zhì)量塊的兩個(gè)端面經(jīng)過磨平抽光后作為可動(dòng)極板(與殼體電連接)。彈簧較硬使得系統(tǒng)的固有頻率較高,因此構(gòu)成慣性式的加速度計(jì)的工作狀態(tài)。

當(dāng)傳感器殼體隨被測(cè)對(duì)象在垂直方向上做直線加速運(yùn)動(dòng)時(shí),傳感器殼體固定在被測(cè)振動(dòng)體上，振動(dòng)體的振動(dòng)使得殼體相對(duì)質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng),因而與殼體固定在一起的兩個(gè)固定極板相對(duì)質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng),致使上固定電極與質(zhì)量塊的A面組成的電容C₂值以及下固定極板與質(zhì)量塊的B面組成的電容C₁值隨之改變,一個(gè)增加,一個(gè)減小,從而使C₁、C₂產(chǎn)生大小相等。符號(hào)相反的增量,此增量正比于被測(cè)加速度。

由于采用空氣阻尼,氣體的黏度溫度系數(shù)比液體小得多,因此,這種加速度傳感器的精度較高,頻率響應(yīng)范圍寬,量程大,可以測(cè)得很高的加速度值。

差動(dòng)式電容測(cè)厚傳感器圖

8-22(a)為頻率型差動(dòng)式電容測(cè)厚傳感器系統(tǒng)組成方框圖。將被測(cè)電容C1、C2作為各變換振蕩器的回路電容，振蕩器的回路電容，振蕩器的其他參數(shù)為固定值，等效電路如圖8-22（b）所示，圖中C₀ 為耦合和寄生電容，振蕩頻率f為

所以