電容式濕度傳感器主要有陶次電容式和高分子電容式兩種。

陶瓷電容式濕度傳感器結(jié)構(gòu):陶瓷電容式濕度傳感器的結(jié)構(gòu)由多孔氧化鋁感濕膜.鋁基片和金電極等構(gòu)成,其結(jié)構(gòu)如圖3-19所示。

工作原理:陶瓷電容式濕度傳感器基于單元?dú)饪椎钠叫邪咫娙萜餍?yīng),根據(jù)所用器件電容隨環(huán)境濕度的變化而變化的原理制成。在低濕時(shí)首先進(jìn)行化學(xué)吸附,隨著濕度的增加開(kāi)始形成低物理吸附層,在高濕度的情況下會(huì)形成多層物理吸附層,電容量也會(huì)相應(yīng)增大。陶瓷電容式濕度傳感器的特性:Al₂O₃薄膜組成的陶瓷電容式濕度傳感器在氣孔中有一定水汽吸附時(shí),隨著環(huán)境濕度的變化,膜電阻和膜電容都將改變。其特性曲線如圖3-20所示,在低濕度時(shí),曲線線性良好,到高濕度時(shí)線性變差,若濕度進(jìn)一步提高,特性曲線變得平緩。在實(shí)際的應(yīng)用中,線性不良和在高濕環(huán)境中長(zhǎng)期工作容易老化是多孔Al₂O₃濕度傳感器的一大缺點(diǎn)。