1)微型化
與非集成化的智能傳感器相比,集成化的智能傳感器體積更小。例如,醫療上用來監測病人的血液流動情況,可以將“微型壓力傳感器"通過注射針頭送入病人的血管之中。
2)精度高
與分體結構相比,集成化的智能傳感器的時間漂移會大大減小,遲兆,重復性指標將大大改善,精度得到很大的提高。
3) 功能強大
利用現代芯片制造工藝,可以在同一硅片上制作出具有不同功能的多個傳感器。微米技術可以在1c㎡大小的硅片上用微機械加工技術制作出能包括數千個傳感器陣列,這可通過徽處理器的運算處理、模式識別、神經網絡技術的應用,達到消除傳感器的時變誤差的不利影響,從而提高智能傳感器的可靠性穩定性和分辯能力。
4) 全數字化
通過微機械加工技術制作出的諧振式傳感器,可以直接輸出數字量。不需要A/D轉換器便能與微處理器方便地接口,性能更為穩定且精度高。
5)使用方便,操作簡單
它沒有外部連接元件,且外接連線(包括電源,通訊線在內)數量極少。因此,接線使用上極其簡便。它還可以自動進行整體自校,無需用戶長時間地反復多環節調節與校驗。智能化程度越高的智能傳感器,其操作使用就越簡便,用戶只需編制簡單的使用主程序就可使用。
