采用新的檢測(cè)原理,通過(guò)微機(jī)械精細(xì)加工工藝`納米技術(shù)和大規(guī)模集成電路制造技術(shù)，利用硅作為基本材料,制作傳感器元件、信號(hào)處理電路、微處理器,并把它們集成在一塊芯片上而構(gòu)成智能傳感器。這種集成化的智能傳感器在航天、導(dǎo)強(qiáng)制導(dǎo)、精密控制等方面具有重大的應(yīng)用價(jià)值。

Motorola公司已實(shí)現(xiàn)了單片集成壓力智能傳感器系統(tǒng)。這種傳感器系統(tǒng)基于雙層多晶硅,單層金屬CMOS工藝,在一塊SOI襯底上集成了壓阻式力敏傳感器,溫度傳感器電流、電壓調(diào)制器、信號(hào)調(diào)理電路、10位A/D轉(zhuǎn)換器8位D/A轉(zhuǎn)換器,用于數(shù)據(jù)通信的外圍電路接口(SPT),8位微處理器(68H05),2K字節(jié)EPROM、128字節(jié)RAM和用來(lái)啟動(dòng)系統(tǒng)的BootROM。系統(tǒng)采用40管腳DIP封裝,校正補(bǔ)償后的傳感器輸出誤差小于0.4%。