寄生電容與傳感器電容相并聯(lián)影響傳感器靈敏度,而它的變化則為虛假信號(hào),影響儀器的精度。必須消除和減小它,可采用如下方法:
①增加原始電容值,可減小寄生電容的影響。采用減小極片或極簡間的間距(平板式間距為0.2~0.5mm,圓簡式間距為0.15mm),增加工作面積或工作長度來增加原始電容值,但受加工及裝配工藝、精度、示值范圍、擊穿電壓、結(jié)構(gòu)等限制。一般電容值變化在10-8~103pF范圍內(nèi),相對值△C/C變化則在10-8~1范圍內(nèi)。
②注意傳感器的接地和屏蔽。圖4-6為采用接地屏蔽的賀簡形電容式傳感器。圖中可動(dòng)極簡與連桿固定在一起隨被測值位移,并與傳感器的屏蔽這(良導(dǎo)體)同為地,因此當(dāng)可動(dòng)極筒移動(dòng)時(shí),它與屏蔽殼之間的電容值將保持不變,從而消除了由此產(chǎn)生的虛假信號(hào)。電纜引線也必須屏蔽至傳感器屏蔽殼內(nèi)。為了減小電纜電容的影響,應(yīng)盡量使用短而粗的電纜線,縮短傳感器至電子線路前置級(jí)的距離。