低溫等離子體即非平衡態等離子體，其特征是能缺密度較低，重粒子溫度接近室溫而電子溫度卻很高，電子與離子有很高的反應活性。目前已有多個研究小組公布了他們在該領域的研究成果：CFCs的分解程度取決于等離子體傳遞的能量，與CFCs的類型無關。低溫等離子體技術中報道較多的是介質阻擋放電(DBD)等離子體技術,DBD是產生非平衡態等離子休的一種有效方式，可以工作于氣壓為10?~10? Pa的空間，是一種高氣壓的非平衡放電。利用DBD產生的非平衡態等離子體，在常壓下實現了CFC-12的降解，并達到了比較滿意的降解率，并且在能量的利用上更加合理。
將DBD等離子體技術應用于氟利昂的處置，正在成為環境科學工作者的一個研究熱點。DBD技術的主要缺點在于其主要產物是COF2及COCIF, CF4等，這給尾氣的后處理帶來很大困難。中國臺灣王亞芬等人研究了CFC-12在冷等離子體系統中加氫條件下的分解,認為CFCs的進氣濃度和功率是影響CFCs分解的主要因素，他們在100W" CFC-12的進氣濃度為7.6%，H2:CFC-12為7.0,壓力2000Pa( 15Torr)的條件下，實現了94%以上的CFC-12轉化率，主產物是CH4和C2H2。
見諸報道的還有微波等離子體技術，同樣也是利用微波將反應物濫度加熱到8000~10000℃，達到等離子狀態后將氟利昂降解。此外，Wsamu Tsuji等人還用等離子法讓CFCs與其他單體共聚生產聚合物:1041，還有用等離子處理催化劑表面來分解CFCs的報道?？傊延卸喾N等離子體技術被用于處理CFCs，但等離子體實驗的因素復雜多變，難度大，設備的制造成本較高，使這種方法的應用仍然缺乏一個堅實的工程基礎。
