彈性元件真空計是一種利用彈性元件（金屬彈簧或薄膜）在氣體壓力差作用下產(chǎn)生的彈性變形的原理來直接或間接地測定壓力的真空計。它可分為直接測量型（如彈簧管式、薄膜式、膜盒式真空計等）和間接測量型（如電容真空計、熱偶真空計）等。電容真空計精度高，可作標(biāo)準(zhǔn)真空計用。

圖8-13所示的為薄膜真空計，其測壓范圍為1×102~1×105Pa，用于低真空測量。在凍干中一般用于系統(tǒng)抽真空和作為增壓泵啟動信號的檢測控制元件，或在蒸氣滅菌中用來控制蒸氣壓力。