熱傳導(dǎo)真空計(jì)是利用低壓下氣體的熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理而制成的測(cè)量真空壓力的儀器,是一種相對(duì)真空計(jì)。其方法是給真空中的一根金屬絲通電加熱,當(dāng)加熱功率恒定時(shí),熱絲的溫度也是恒定的。但若氣體壓力改變,氣體分子從熱絲導(dǎo)走的熱量也就改變,因而熱絲溫度就會(huì)發(fā)生變化。所以熱絲的溫度是氣體壓力
的函數(shù),即T=f(p)。只要事先找出這個(gè)函數(shù)關(guān)系,即可由某時(shí)刻熱絲的溫度求出對(duì)應(yīng)的真空壓力p值。測(cè)量熱絲溫度有如下兩種方法。
①利用熱絲電阻隨溫度變化的特性,測(cè)量熱絲的電阻變化,此種真空計(jì)稱為電阻真空計(jì)。
②利用熱電偶直接測(cè)量熱絲溫度的變化,此種真空計(jì)稱為熱偶真空計(jì)。